Vakuumkompatible-Nanopositioniertische

Hub: 83, 63 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 240, 120, 1.000 nm

Mit 226 mm Länge, 176 mm Breite und 30 mm Höhe ist die SOM-12090 der zweitgrößte Mikroskopietisch von SmarAct. Die SOM-12090 bietet einen Verfahrbereich von 83 mm auf der X-Achse und 63 mm auf der Y-Achse. Sie basiert auf den kompakten ...

Hub: 123, 103 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 180, 360, 1.000 nm

Mit 123 mm auf der X-Achse und 103 mm auf der Y-Achse bietet die SOM-180150 die größten Verfahrbereiche aller SmarAct Mikroskopietische. Basierend auf den kompakten SLC Linearpositionierern bietet die SOM-180150 Präzision im Nanometerbereich ...

Hub: 51 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 80, 160, 1.000 nm

Die SOM-8080 ist der kompakteste Mikroskopietisch von SmarAct und bietet einen Verfahrbereich von 51 mm auf der X- und Y-Achse. Die Abmessungen der SOM-8080 betragen 138 mm in Länge und Breite und 23 mm in der Höhe. Wie alle Mikroskoptische ...

Hub: 51, 19 mm
Geschwindigkeit: 8 mm/s
Wiederholbarkeit: 160, 1.000, 80 nm

Der SOM-808030 ist der größere der Mikroskopietische von SmarAct, der eine vertikale Verfahrrichtung bietet. Der Verfahrbereich auf der X- und Y-Achse beträgt 51 mm und auf der Z-Achse 16 mm. Die Abmessungen der SOM-808030 betragen 138 ...

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm

Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Durchlicht: 80 x 80 mm Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Messsystem • Wahlweise ...