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Roboter für Wafer-Handling
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Maximalbelastung: 5 kg
Aktionsradius: 250, 350, 400 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,01 mm
... Stellt die kleinen SCARA-Roboter vor. Merkmal Interne Struktur, die hohe Steifigkeit und hohe Genauigkeit erreicht. Völlig riemenlose Struktur Eine völlig riemenlose Struktur wurde durch die Verwendung einer ZR-Achsen-Direktkupplungsstruktur ...
Der Roboter setzt Wafer (oder Zellen) vom Einlaufband auf das Auslaufband oder umgekehrt, dabei kann die Spuranzahl von eins bis fünf variieren. Außerdem können die Wafer in Fächer ...
Maximalbelastung: 6 kg
Aktionsradius: 750 mm
Wiederholgenauigkeit: 0,1 mm
Maximalbelastung: 0 kg - 1 kg
Wiederholgenauigkeit: 0,02 mm
Roboter der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7“ bis 21“ Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5“ bis 28“ kombinierbar. Abhängig ...
Maximalbelastung: 0 kg - 1 kg
Aktionsradius: 7, 10, 14 in
Wiederholgenauigkeit: 0,02 mm
Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit Höchste Ausfallsicherheit Made in Germany Merkmale wafer-Handling bis zu 200 mm ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und Präzision höchste Ausfallsicherheit ...
ISEL France
Maximalbelastung: 0 kg - 3 kg
Aktionsradius: 10, 13, 17, 21 in
Wiederholgenauigkeit: 0,02 mm
... Peripherien an die Robotersteuerung Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen Inklusive Robot Control Center (RCC) ISO 1-reinraumkompatibel Made in Germany
ISEL France
Maximalbelastung: 0 kg - 3 kg
Aktionsradius: 10 in - 28 in
Wiederholgenauigkeit: 0,02 mm
... Peripherien an die Robotersteuerung Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen Inklusive Robot Control Center (RCC) Klasse 1-reinraumkompatibel Made in Germany
ISEL France
Maximalbelastung: 0 kg - 1,5 kg
Aktionsradius: 7 in - 21 in
Wiederholgenauigkeit: 0,02 mm
Artikelnummer IWH Serie 3 2-Link DualArm integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige inklusive Standard oder Advanced Controller & Software ISO 1-reinraumkompatibel Made in Germany Merkmale Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit ...
ISEL France
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