Optischer Interferometer Verifire™ XL

LaserkompaktFizeau

Große Apertur, geringer Platzbedarf – Das Verifire XL ist eine schlüsselfertige Interferometer-Workstation für die problemlose Prüfung planer Optiken mit bis zu 300 mm Durchmesser. Dieses vollständig integrierte System ist benutzerfreundlich und mit einem robusten Probentisch mit Kipp-/Neigungsfunktion ausgestattet, der die wiederholbare Probenplatzierung ohne spezielle Halterungen ermöglicht. Das kompakte Gerät mit integrierter Schwingungsisolierung und Controller-Monitorständer benötigt minimale Stellfläche in der Produktionsumgebung. Eigenständige Workstation mit großer Apertur zum Messen der Form von optischen Planflächen bis zu 300 mm (12 Zoll) im Durchmesser, wie z. B. Spiegel, Fenster, Halbleiter-Wafer, Wafer-Aufspannvorrichtungen und Blockflächen. • Nach unten ausgerichtete 300-mm-Apertur (12 Zoll) für eine einfache Teilehandhabung und -ausrichtung • Betriebsbereites, eigenständiges System mit Interferometer-Hauptgerät, passivem Schwingungsisoliersystem, Teileausrichtungstisch und Messobjektiv (TF) mit 1/15 PVr • Kompakte Stellfläche für minimalen Platzbedarf • Integrierte Schwingungsisolierung und QPSI™ Technologie für zuverlässige Messungen in Produktionsumgebungen