MEMS-Inspektionssystem FF35 CT

RöntgenstrahlenHalbleiter3D

Mit seiner optionalen Zwei-Röhren-Anordnung kombiniert das FF35 CT beispiellose CT-Datenqualität mit höchster Vielseitigkeit bei der Prüfung kleiner und mittelgroßer Teile. • Ein-oder Zweiröhrenkonfiguration für größte Vielseitigkeit bei MikroCT-Labor-Anwendungen • Sekundenschneller Wechsel zwischen 225kV-Mikrofokus- und 190kV-Nanofokusröhre per Knopfdruck • Genaue Ergebnisse durch granitbasierten Manipulor und Klimatisierung • Applikationsflexibilität durch diverse CT-Trajektorien und Messkreiserweiterungen über die Softwareplattform Geminy • Optionale Metrologieversion mit einem MPESD = 5,9 µm + L/75 [L in mm] • Verfügbar als FF35 CT SEMI Version gemäß den Standards der Halbleiterindustrie • NEU! Prüfteilgewicht bis zu 50 kg – auch als Upgrade erhältlich Flexible Prüfung von sehr kleinen bis mittelgroßen Teilen Die FF35 CT, FF35 CT Metrology und FF35 CT SEMI decken ein außergewöhnliches Anwendungsspektrum ab. Die Einsatzmöglichkeiten reichen von der Materialprüfung in der F&E-Abteilung über eine Optimierung von Prozesskontrolle und Kleinserienprüfung bis hin zu verschiedenen wissenschaftlichen Applikationen. Durch den Aufbau mit zwei Röntgenröhren eröffnet das hochauflösende CT-System der Qualitätssicherung und Forschung in der Automobil-, Elektronik-, Luftfahrt- und Materialforschungsindustrie neue Perspektiven.