Ventil für Ultrahochvakuum 010 series
Segmentschützmanuellpneumatisch

Ventil für Ultrahochvakuum
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Eigenschaften

Typ
Segmentschütz
Betätigung
manuell, pneumatisch
Funktion
Isolation
Korpus
Miniatur, Edelstahl
Anwendung
für Industrieanwendungen, für Ultrahochvakuum, für die Halbleiterindustrie
Weitere Eigenschaften
kompakt, einfachwirkend, doppeltwirkend
DN

16 mm, 25 mm, 40 mm, 50 mm
(0,63 in, 0,984 in, 1,575 in, 1,969 in)

Druck

Max: 7 bar
(101,5 psi)

Min: 5 bar
(72,5 psi)

Temperatur

50 °C, 80 °C, 200 °C, 250 °C
(122 °F, 176 °F, 392 °F, 482 °F)

Beschreibung

Der kompakte Mini-UHV Schieber mit modularem Antriebskonzept ist in der Industrie und in der Forschung einsetzbar. Er eignet sich speziell für die Verrohrungen an Halbleiterprozessanlagen.

Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.