Drehschieber-Vakuumpumpe LR/HR/UR series

trockeneinstufigHelium

TROCKENE VAKUUMPUMPE LR/HR/UR SERIE Der einzigartige Ansatz von ULVAC, die erzeugte Wärme aus dem Inneren des trockenen Pumpenkörpers zu nutzen, ermöglicht es der LR/HR/UR-Serie, auch in den strengsten Prozessen zu arbeiten. ULVAC hat die Konstruktionsanstrengungen auf die Aufrechterhaltung einer extrem gleichmäßigen hohen Temperatur über alle Pumpenstufen konzentriert, was diese Pumpenbaureihe optimal für CVD- und Ätzanwendungen macht. Die ECO-SHOCK von ULVAC kann der LR-Pumpe hinzugefügt werden, um zusätzliche Energieeinsparungen von bis zu 70% bei allen leichten Prozessen, einschließlich der Förderung von Luft oder Stickstoff, zu erzielen: Die Pumpe der Baureihe LR ist entweder für Ladeschleusen- oder PVD-Prozesse ausgelegt. Das einzigartige Aluminiumdesign von ULVAC ermöglicht eine sehr gleichmäßige Temperaturverteilung im gesamten Pumpenkörper: Die HR-Luftpumpe ist für CVD- und Ätzprozesse ausgelegt. Die ULVAC UR-Pumpe ist für Anwendungen konzipiert, die eine beheizte Pumpe, beheizte Gasleitungen und/oder beheizte Abgasleitungen erfordern Ausgezeichnete Heliumpumpfähigkeit: Spaltrohrmotor für Sicherheit und Wartungsfreundlichkeit Netzausfallsicherung: Die Pumpe widersteht Stromausfällen von bis zu 1000 ms Dauer. Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: Die Innenteile werden speziell behandelt und bieten eine hohe Oberflächenhärte und Korrosionsbeständigkeit. Dies verhindert den Verschleiß und die Korrosion von Pumpeninnenteilen, wenn die korrosiven Gasen ausgesetzt sind. Kommunikationsfunktion: Pumpendaten einschließlich Warnungen und Alarme können exportiert werden. Eine umfangreiche Pumpensteuerung ist verfügbar. CE-Kennzeichnung ist verfügbar: Die CE-Kennzeichnung ist auf Anfrage erhältlich.