Segmentschütz XGTP seriesmanuellfür neutrale Gasefür Wafer
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Eigenschaften
- Typ
- Segmentschütz
- Betätigung
- manuell
- Medium
- für neutrale Gase
- Anwendung
- für Wafer
- Druck
Max: 600.000 Pa
(87 psi)Min: 450.000 Pa
(65,3 psi)- Temperatur
150 °C
(302 °F)
Beschreibung
・Lange Lebensdauer: 3 Millionen Zyklen (innerhalb des Standardtemperaturbereichs)
・Niedrige Partikelerzeugung: Reduziert um 1/5 oder mehr
(verglichen mit dem bestehenden Produkt)
・Einfachere Wartung
Einfacher Austausch des Faltenbalgs
Schieber kann von oben ausgetauscht werden. (Auf Bestellung gefertigt)
・Sicherheitsmaßnahmen
Es wurde ein mechanischer Endverriegelungsmechanismus eingeführt.
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.