Z-Positioniertisch P-725 series

piezoelektrischLanghubAutofokus

• Stellweg 100 µm, 400 µm oder 800 µm • Wesentlich schnelleres Ansprechen und höhere Lebensdauer als motorische Antriebe • Feinpositionierung von Objektiven mit Sub-nm-Auflösung • Direkte Positionsmessung mit kapazitiven Sensoren: Höchste Linearität • Kompatibel mit Metamorph® Imaging-Software • Große freie Apertur mit Ø 29 mm • 3D-Imaging • Screening • Interferometrie • Messtechnik • Autofokus-Systeme • Biotechnologie • Halbleiterinspektion Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.