Hochlast Piezo-Linear-Aktor
max. 800 N, max. 20 mm | PiezoWalk® series
Physik Instrumente
Anwendungsbeispiele
Halbleiterfertigung
Halbleitertestausrüstung
Waferinspektion
Nanolithographie
Nano-Imprint
Nanometrologie
Aktive Schwingungsdämpfung
Bewegung unter starken Magnetfeldern
Die N-216 NEXLINE® Hochlast-Linearaktoren sind hochgenaue Antriebe mit Stellwegen von 20 mm und Zug-/Druckkräften bis zu 600 N. Der Vortrieb wird durch die koordinierte lineare und Scherbewegung von stark vorgespannten Piezoelementen erzeugt, die an einen Läufer ankoppeln. Damit kombinieren NEXLINE® Antriebe lange Stellwege mit der Präzision von Piezoaktoren.
Mit dem N-216 für den geregelten oder den ungeregelten Einsatz stehen zwei Antriebsvarianten zur Verfügung mit unterschiedlicher Kraftauslegung. Die geregelten Varianten sind mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung des bewegten Läufers ausgerüstet. Der Encoder besitzt eine Auflösung von 5 nm über den gesamten Stellweg. Im ungeregelten Betrieb können Positionsauflösungen bis 30 Picometer z.B. in einem hochdynamischen Analog-Betrieb erzielt werden.
Halbleiterfertigung
Halbleitertestausrüstung
Waferinspektion
Nanolithographie
Nano-Imprint
Nanometrologie
Aktive Schwingungsdämpfung
Bewegung unter starken Magnetfeldern
Die N-216 NEXLINE® Hochlast-Linearaktoren sind hochgenaue Antriebe mit Stellwegen von 20 mm und Zug-/Druckkräften bis zu 600 N. Der Vortrieb wird durch die koordinierte lineare und Scherbewegung von stark vorgespannten Piezoelementen erzeugt, die an einen Läufer ankoppeln. Damit kombinieren NEXLINE® Antriebe lange Stellwege mit der Präzision von Piezoaktoren.
Mit dem N-216 für den geregelten oder den ungeregelten Einsatz stehen zwei Antriebsvarianten zur Verfügung mit unterschiedlicher Kraftauslegung. Die geregelten Varianten sind mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung des bewegten Läufers ausgerüstet. Der Encoder besitzt eine Auflösung von 5 nm über den gesamten Stellweg. Im ungeregelten Betrieb können Positionsauflösungen bis 30 Picometer z.B. in einem hochdynamischen Analog-Betrieb erzielt werden.
