Gas-Massenspektrometer
max. 50 hPa | HPA 220 Pfeiffer Vacuum

Gasanalyse im Druckbereich bis 50 mbar

Der High Pressure Analyzer HPA 220 ist ein modulares und flexibel einsetzbares Massenspektrometersystem mit trockenem Turbopumpstand für die Gasanalyse im Vakuum bis zu Drücken von 50 mbar.

Je nach Anwendung kann man bei dem HPA 220 zwischen fünf verschiedenen sowohl elektropneumatisch als auch manuell bedienbaren Gaseinlassventilen wählen.

Vorteile
- Hohe Flexibilität durch 5 manuell oder elektropneumatisch bestätigte Gaseinlassoptionen zur Prozessanalyse, -überwachung, -kontrolle bis 50 mbar
- Leichte und flexible Systemeinbindung durch eine Vielzahl von digitalen und analogen Ein- und Ausgängen
- Multiplexbetrieb ermöglicht die Datenauswertung mehrerer Massenspektrometersysteme über einen PC
- Kompakte Abmessungen für eine flexible Integration
Kommende Messen
  • SEMICON West 2013
    09-11 Juli 2013
    San Francisco (USA - Kalifornien)
  • M&M
    04-08 August 2013
    Indianapolis (USA - Indiana)
  • JASIS
    04-06 September 2013
    Makuhari,Tokyo (Japan)

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