Ionenstrahlverdampfer EFM 6
Prozess

Ionenstrahlverdampfer
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Eigenschaften

Typ
Ionenstrahl
Labor / Prozess
Prozess

Beschreibung

Verdampfungszone > 50 der Tiegel-capacitiy bis Millimeter Verdampfung 10 cm3 von den Leitungen, von den Stangen oder von der Tiegel integrierten abgekühlten Blendenverschluß Wasserkühlung für minimalen Druckaufstieg EIN FOKUS-Produkt der EFM 6 Verdampfer erweitert das EFM Warenangebot auf eine größere Skala. Mit einem Nanowatt 63 niedrigen Flansch der CF (4.5 " Od) und einer Tiegelkapazität von bis 10 cm3, die EFM 6 Einflüsse ungefähr 10mal so viel Material wie das EFM 3. Bereits in einem kurzen Arbeitsabstand ist die Verdampfungszone größer als 50 Millimeter im Durchmesser, der das EFM 6 ideal entsprochen für Substrate zwischen 2 " und 4 bildet ". Einen integrierten Fluß kennzeichnend, überwachen Sie und Blendenverschluß, das EFM 6 ist ein einzigartiges Werkzeug in der mittelgrossen Verdampferstrecke, ein nicht nur verwendbar für das Wachstum der Vor-monomolekularer Filme aber auch für starke Bondauflagen etc. Für ausgedehnte Service-Zyklen wird das EFM 6 mit einem doppelten Heizfaden ausgerüstet. Die erforderliche hohe Energie, die großen Tiegel zu heizen wird durch das EVC 1200 geliefert.

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Kataloge

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.