Automatisches Handlingsystem NWL200

für Inspektionsmikroskopfür Wafer

Nikons innovative, voll ausgestattete NWL200 Waferloader unterstützen die umfassende Inspektion von Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von 6" (150 mm) und 8" (200 mm) mit Hilfe eines optischen Mikroskops oder eines Videomesssystems, z. B. Nikon NEXIV. Hochentwickeltes, zuverlässiges Ladegerät für die Handhabung einer Vielzahl von Scheiben Die NWL-Serie ist eine hervorragende Reihe von Halbleiter-Wafer-Ladegeräten von Nikon, die Wafer mit einem Durchmesser von 6″ (150 mm) und 8″ (200 mm) bis zu einer Dicke von 100 Mikrometern (Option) auf Nikon Eclipse L200N und LV150N Mikroskope oder ein NEXIV VMZ-S Videomesssystem übertragen können. Integration mit NEXIV – Video-Messtechnik Der NWL200 Wafer-Loader, der zusammen mit einem Nikon NEXIV Videomesssystem integriert ist, bietet hohe Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit für die Halbleiterinspektion in einer Produktionsumgebung. Hohe Zuverlässigkeit in der Halbleiterproduktion Bei einer unerwarteten Unterbrechung der Stromversorgung bleibt die Vakuumspannvorrichtung des Makroarms aktiv und ermöglicht eine sichere Waferentnahme. Makro-Inspektionsfunktionen Die Inspektion von Halbleiterwafern auf der Vorderseite, am hinteren Rand und im mittleren Bereich wird unterstützt. Die Rotationsgeschwindigkeit und der Neigungswinkel des Wafers werden automatisch oder manuell eingestellt.