Metrologie für Wafer PV-1000 series

Für die prozessbegleitende Überwachung von Solar-/Photovoltaik-Wafern Mehrkanaliges Dicken-, TTV- und Bogenmessmodul für die In-Prozess-Überwachung von Solar-/Photovoltaik-Wafern und anderen Materialien. Merkmale Bis zu drei Dickenkanäle pro Rack Die proprietären MTII Push/Pull-Kapazitätssonden funktionieren mit allen Wafertypen Messungen der minimalen, maximalen, durchschnittlichen und gesamten Dickenvariation Bogenmessung (3 Sondenpaare erforderlich) Integrierte Datenerfassungs- und Steuerungselektronik Schnelle Ethernet-Kommunikationsanschlüsse für Produktionsraten von bis zu 5 Wafern pro Sekunde Skalierbar für eine erhöhte Anzahl von Dickenlinien-Scans Digitale E/A für den Anschluss an bestehende Wafer-Handling-Geräte Windows®-basiertes Steuerprogramm für die lokale oder entfernte Datenüberwachung Windows®-basiertes DLL-Paket für die Integration in vorhandene Steuer-PCs Standard- und kundenspezifische Sondengrößen verfügbar Über das Photovoltaik-/Solar-Metrologiesystem Mehrkanaliges Dicken-, TTV- und Bogenmessmodul für die prozessbegleitende Überwachung von Solar-/Photovoltaikwafern und anderen Materialien.