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Luftanalysator Process Sense™ElementarintegrierbarNDIR
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Eigenschaften
- Messobjekt
- Luft
- Messgröße
- Elementar
- Konfigurierung
- integrierbar
- Technologie
- NDIR
Beschreibung
Das ProzeßSense? ist für die Bestimmung der Beendigung der Plasmaraumreinigung, im Halbleiter und in den Absetzungräumen verwendbar. Der Druckanalysator setzt die Raumabnutzung herab, die zum Overcleaning passend ist. Infolgedessen ist der Lebenservice des Raumes ausgedehnt.
Die Vorrichtung ist von einer Infrarotabsorption entworfen, die für alle PlasmaReinigungsvorgänge leistungsfähig ist. Sie wird in den kompletten Aufsteigeninstallationssätzen, für AMAT CVD Werkzeuge angeboten.
Sie kann verwendet werden in den unterschiedlichen Anwendungen, die Silikonoxide, Silikonnitride, polysilicon mit einbeziehen und im Siliziumwasserstoff oder IN DEN TEOS Prozessen.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.