Linearer Nanopositioniertisch NPX series
piezoelektrisch3-Achskompakt

linearer Nanopositioniertisch
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Eigenschaften

Ausrichtung
linear
Typ
piezoelektrisch
Achszahl
3-Achs
Weitere Eigenschaften
kompakt, Closed-Loop, Präzision
Hub

0,1 mm, 0,2 mm, 0,4 mm
(0,004 in, 0,008 in, 0,016 in)

Beschreibung

Die NPX Piezo Stack Lineartische bieten lange Verfahrwege und Sub-Nanometer-Auflösung in einer, zwei oder drei Achsen in einem kompakten Gehäuse. Sie zeichnen sich durch eine schnelle Reaktion und ein schnelles Einschwingverhalten aus, sodass sie in dynamischen Prozessen wie Hochfrequenz-Fehlerkompensation, Tracking, schnellem Stepping oder kontinuierlichem Scanning eingesetzt werden können. -Auflösung der piezoelektrischen Positionierung im Subnanometerbereich -Bewegung in X, XY oder XYZ -Piezoelektrischer Verfahrbereich von bis zu 400 µm -Optionaler integrierter Dehnungsmessstreifen für den Betrieb im geschlossenen Regelkreis -Hohe Resonanzfrequenz für hochdynamische Anwendungen -Vakuum-Versionen Merkmale Sub-Nanometer-Positionierauflösung Mit einer Positionierauflösung von nur 0,2 nm ermöglicht der NPX Piezo-Stack-Lineartisch ultrafeine Einstellungen, deren Auflösung nur durch das Rauschen der Steuerelektronik begrenzt wird. Großer piezoelektrischer Verfahrbereich Die NPX Piezo Stack Lineartische verfügen über hochzuverlässige, mehrlagige, piezoelektrische Niederspannungs-Transducer-Stacks für hochbelastete Anwendungen. Ein ausgeklügeltes, FEA-optimiertes Parallelogramm-Flexionsführungssystem gewährleistet eine perfekte Parallelbewegung und einen Verfahrbereich von bis zu 400 µm. Aufgrund des reibungsfreien Führungsprinzips sind die NPX Piezo Stack Lineartische wartungs- und verschleißfrei. Außerdem wird die Empfindlichkeit der Ausgangsbewegung nicht durch mechanische Reibung beeinträchtigt.

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.