PVD-Auftragsmaschine PVD 75

SputterPVD durch thermisches VerdampfenVakuum

PROlinie PVD-Reihe – vielseitiges Spritzen, Elektronenstrahl, Thermal- u. organische Verdampfungs-Absetzungs-Plattform Die PROlinie PVD-Reihe verwendet eine Modularbauweise, die für eine Vielzahl von Dünnfilmabsetzungsanwendungen konfigurierbar ist. Verfügbar in drei zunehmenden Kammergrößen: PVD75, PVD200 und PVD500 Verfügbar mit ™ UHV TORUS® Mag Keeper kompatiblen Kreismagnetron-Spritzenquellen in 2", 3", 4" Durchmesser Verfügbar mit linearen Magnetrons TORUS® Verfügbar mit Multi-TaschenElektronenstrahl-Verdampfungsquellen Verfügbar mit mehrfachen thermischen Verdampfungsquellkonfigurationen Bis zwei organische Verdampfungsquellen verfügbar Multi-Technikwahlen verfügbar. Beispiele: Elektronenstrahl + spritzend, Elektronenstrahl + Verdampfung Nass oder trockenes raues Pumpen, Turbo-Pumpe oder pumpende Wahlen des kälteerzeugenden Pumpenhochvakuums verfügbar Standardkonfigurationen kompatibel mit bis 11" bis 20" Od-Substrate (während Kammergröße); bis zur Heizung 850°C die Wahlen abkühlend und beeinflussen verfügbar Einzelne und Multioblatenschleusewahlen verfügbar für Substrate bis 6" PROlinie Reihe von PVD-Werkzeugen umfassen innovatives Paket eKLipse™ KJLCS modernes Steuer