Oxidationsofen VF-3000

FörderbandSchrankmodellunter Schutzatmosphäre

Dieser preisgünstige Vertikalofen, der mit einem automatischen Förderer ausgestattet ist, kann für eine Reihe von Funktionen von Forschung und Entwicklung bis hin zur Massenproduktion von 4- bis 8-Zoll-Wafern verwendet werden. Wir haben einen so niedrigen Preis erzielt, dass auch Endverbraucher diesen Ofen einführen können. Die Ultrahochtemperaturbehandlung ist verfügbar und eignet sich am besten für die Herstellung von Leistungsgeräten. Merkmale Kostengünstige Ausrüstung für Back-End-Anwender Mini-Batch-Verarbeitung von 50 bis 75 Wafern für F&E bis hin zur Massenproduktionslinie 4- bis 8-Zoll-Wafergröße ist verfügbar Maximal 4 Kassettenvorräte Hervorragende Temperaturkontrolle vom niedrigen bis zum mittelhohen Temperaturbereich mit einem LGO-Heizer Hochgeschwindigkeits-Wafer-Transfer mit einem einzigen Wafer-Handling-Roboter Ausgestattet mit einem einfachen Steuerungssystem mit begrenzter Funktion Dieser Ofen kann für eine breite Palette von Wafergrößen von 4 bis 8 Zoll verwendet werden, und die Verarbeitung von 50-75 Wafern in Minilosen kann gewählt werden. Da die Hardware und das Steuerungssystem sorgfältig ausgewählt wurden, um einen niedrigen Preis zu erzielen, kann dieser Vertikalofen für eine breite Palette von Funktionen von F&E bis hin zu Massenproduktionslinien verwendet werden. Wählen Sie ein geeignetes Heizelement aus einem LGO-Heizelement, einem Molybdändisilizid (MoSi2)-Heizelement und einem Kohlenstoff-Heizelement aus und verwenden Sie es nicht nur für das Niedertemperatur-Glühen, Nitrid (Si3N4), Polysilizium (Poly Si) und andere LPCVD-, Oxidations- und Diffusionsverfahren, sondern auch für das Gate-Silizium-Oxynitrieren von SiC-Leistungsgeräten, das Aktivierungsglühen und andere Ultrahochtemperatur-Behandlungsverfahren.