Laserinspektionssystem Voyager™

RasterOberflächenfehlerfür Wafer

Laserscanning-Systeme zur Prüfung von strukturierten Wafern auf Defekte Das Laserscanning-Inspektionssystem Voyager® 1035 unterstützt die Defektüberwachung an der Produktionsrampe bei der Herstellung moderner Logik- und Speicherchips. Der Voyager 1035 Inspektor mit dem DefectWise® Deep-Learning-Algorithmus trennt wichtige DOI (Defects Of Interest) von störenden Musterdefekten, um die Gesamtfehlererfassungsrate der wichtigen Defekte, einschließlich einzigartiger, subtiler Defekte, zu verbessern. Die branchenweit einzigartige schräge Beleuchtung und neue Sensoren mit einer um 30 % verbesserten Quanteneffizienz sorgen für einen höheren Durchsatz und eine bessere Empfindlichkeit bei der Inspektion empfindlicher Fotolackschichten mit geringerer Dosis in Anwendungen wie der Nachentwicklungsinspektion (ADI) und der Fotozellenüberwachung (PCM) für die EUV-Lithografie. Der Voyager 1035 bietet einen hohen Durchsatz und eine hohe Empfindlichkeit in Kombination mit Deep-Learning-Fähigkeiten zur Erfassung kritischer Defekte in der Litho-Zelle und anderen Modulen der Fab, so dass Prozessprobleme schnell erkannt und behoben werden können. Anwendungen Linienüberwachung, Werkzeugüberwachung, Werkzeugqualifizierung, 193i- und EUV-Resistqualifizierung