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Knickarmroboter NTS series 4-Achs5-AchsUmschlag
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Eigenschaften
- Typ
- Knickarm
- Achszahl
- 4-Achs, 5-Achs
- Funktion
- Umschlag
- Einsatzbereich
- für Reinraum
- Maximalbelastung
0,7 kg
(1,543 lb)- Aktionsradius
1.066 mm
(41,97 in)- Wiederholgenauigkeit
0,1 mm
(0,0039 in)
Beschreibung
Der Roboter der NTS-Serie kann auf 2 und 3 FOUPs von EFEM ohne Gleis zugreifen. Das speziell entwickelte Antriebssystem ermöglicht es dem Roboter, sich unglaublich sanft und mit hoher Präzision zu bewegen.
Die Serie entspricht sowohl dem SEMI-F47- als auch dem SEMI-S2-Standard.
Anwendungen
Handhabung von Silizium-Wafern
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Kataloge
Clean Robot NTS, TTS series
2 Seiten
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.