Ein und derselbe Probenhalter kann nun sowohl für das Lichtmikroskop als auch für das Rasterelektronenmikroskop verwendet werden. Durch die Verwaltung der Objekttischinformationen mit einer speziellen Software ist es dem System möglich, die mit dem Lichtmikroskop beobachteten Stellen aufzuzeichnen und dann dieselben Bereiche mit dem Rasterelektronenmikroskop weiter zu vergrößern, um die feinen Strukturen mit höherer Vergrößerung und höherer Auflösung zu beobachten. Es ist nun möglich, die Bilder des Lichtmikroskops und des Rasterelektronenmikroskops reibungslos und einfach zu vergleichen und zu überprüfen.
Datenerfassung und intuitive Beobachtung mit Hilfe von Farbe
Durch die Hinzufügung von Farbinformationen des sichtbaren Lichts aus dem Lichtmikroskopbild (die mit dem REM-Bild nicht gewonnen werden können) wird ein REM-Bild mit einem intuitiveren visuellen Effekt erzeugt.
Reibungslose Zielsuche unter Ausnutzung der Eigenschaften des Lichtmikroskops
Durch die Beobachtung mit dem Lichtmikroskop lassen sich Zielstrukturen, die mit REM-Bildern nur schwer zu erkennen sind, leicht finden.
Verhinderung von Schäden an der Probe durch den Elektronenstrahl
Um Beschädigungen oder Verunreinigungen durch den Elektronenstrahl zu vermeiden, wird der zu untersuchende Bereich zunächst mit dem Lichtmikroskop gesucht. Dies ermöglicht eine REM-Betrachtung mit minimaler Strahlendosis an der Beobachtungsstelle.
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