Vierpolige Spektrometer EDA 407

für die Halbleiterindustriefür ElektronikbauteileGasanalyse

Füllgas Analysator für Elektronikkomponenten Das EDA 407 erfüllt die zunehmend strengeren Anforderungen der Elektronikindustrie für die Qualitätssicherung von hermetisch abgeschlossenen Bauteilen. Der Hochleistungs-Quadrupol-Analysator ist für die Feuchtigkeitsbestimmung in elektronischen Bauteilen besonders gut geeignet und wird mit kundenspezifischen Probenhaltern und Brechkammern für Bauteile mit unterschiedlichen Abmessungen geliefert. Geeignet für die Feuchtigkeitsbestimmung in kleinen gasdicht versiegelten elektronischen Bauelementen Hochleistungs-Quadrupol-Analysator für die Qualitätskontrolle Nachweisgrenze für Wasser <500 ppm für Volumina von 10 - 500 µl Qualitative und quantitative Analyse der Haupt- und Spurenbestandteile von Gaseinschlüssen im Gehäuse von elektronischen Bauteilen (ppm bis 100%) Vollautomatischer Analysenablauf