Sammelsystem
RP-1 HORIBA STEC

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Sammelsystem Sammelsystem - RP-1
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Beschreibung

Fadenkreuz/Masken-Partikel-Entferner RP-1
Fadenkreuz/Masken-Partikel-Entferner RP-1
Das RP-1 entfernt automatisch Partikel vom Fadenkreuz/von der Maske auf dem Luftweg (oder N2) und Vakuumsog. Die Partikel routinemäßig entfernen, bevor der Lithographieprozeß den Ersatzzyklus des pellicle und Reinigungszyklus der Maske verlängert, dadurch beitragend zu einer Reduzierung in den Verwaltungskosten.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)