LCD-Monitor / 15" / kompakt
CS-150 HORIBA STEC

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LCD-Monitor / 15 LCD-Monitor / 15" / kompakt - CS-150
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Eigenschaften

  • Technologie:

    LCD

  • Bildschirmgröße:

    15"

  • Weitere Eigenschaften:

    kompakt

Beschreibung

SPM-Monitor CS-150
CS-100 Seriesr, CS-137-153-152-150-100-153N-139E
Das CS-150 ist ein chemischer Konzentrationsmonitor der Hochpräzision, der für Gebrauch mit den SPM-Lösungen bestimmt ist, die in den Halbleiterherstellungsreinigungsprozessen benutzt werden. Schnelle Antwort und eine kompakte Größe kennzeichnend, überwacht das CS-150 fortwährend die Konzentrationen der verschiedenen Komponenten der SPM-Lösungen (H2SO4/H2O2/H2O) benutzt, um Metallionen und organische Substanzen zu entfernen. Die Regelung, die auf dem Monitorertrag basiert, wird, um die Konzentrationen der SPM-Lösungen innerhalb der zulässigen Bereiche zu halten benutzt und unnötigen Ersatz von Chemikalien zu beseitigen.
Ein kurzer messender Zyklus erlaubt die genaue Spurhaltung von chemischen Konzentrationen, während die Kompaktbauweise Integration mit einem Reinigungsgerät erleichtert.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)