LCD-Monitor / 15" / kompakt
CS-152 HORIBA STEC

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LCD-Monitor / 15 LCD-Monitor / 15" / kompakt - CS-152
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Eigenschaften

  • Technologie:

    LCD

  • Bildschirmgröße:

    15"

  • Weitere Eigenschaften:

    kompakt

Beschreibung

Monitor der Konzentrations-SC-2, CS-152
CS-100 Seriesr, CS-137-153-152-150-100-153N-139E
Prozessüberwachung des Halbleiters für Prozess SC-2
Der saubere Standardmonitor CS-152 ist ein chemischer Konzentrationsmonitor der Hochpräzision, der für Gebrauch mit den Lösungen SC-2 bestimmt ist, die in den Halbleiterherstellungsreinigungsprozessen benutzt werden. Schnelle Antwort und eine kompakte Größe kennzeichnend, überwacht das CS-152 fortwährend die Konzentrationen der verschiedenen Komponenten der Lösungen SC-2 (HCl/H2O2/H2O) benutzt, um Metallionen zu entfernen. Die Regelung, die auf dem Monitorertrag basiert, wird, um die Konzentrationen der Lösungen SC-2 innerhalb der zulässigen Bereiche zu halten benutzt und unnötigen Ersatz von Chemikalien zu beseitigen. Ein kurzer messender Zyklus erlaubt die genaue Spurhaltung von chemischen Konzentrationen, während die Kompaktbauweise Integration mit einem Reinigungsgerät erleichtert.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)