Dichte-Überwachungssystem SLIA-300

MessWasserkompakt

Erfüllt die Anforderungen des Kunden an die Messung der extrem niedrigen Dichte von Siliziumdioxid bei feinster Empfindlichkeit von 0,01 µg/L (0,01 ppb) Das in den Halbleiterproduktionsprozessen verwendete Reinstwasser kann mit einem Ionenaustauscherharz weiter gereinigt werden. Die schnellstmögliche Aufnahme der aus diesem Ionenaustauscherharz gelösten Kieselsäure kann die Reinstwasserqualität kontrollieren, die während der Produktionsprozesse wichtig ist. HORIBA Advanced Techno hat eine neue "Long-Light-Path-Length-Messzelle" entwickelt und eingesetzt, um eine hochempfindliche Messung von Kieselsäure mit extrem niedriger Dichte zu ermöglichen, und hat auch ein kompaktes Desktop-Modell zur Verbesserung der Benutzerfreundlichkeit realisiert. Mit einer breiten Palette von Standardfunktionen wie Selbstdiagnose und neuen Leistungssteigerungen wie Hochgeschwindigkeitsreaktion und hoher Empfindlichkeit bietet dieses Produkt eine verbesserte Unterstützung für die Reinwasserprozesse bei der Halbleiterherstellung. Hohe Empfindlichkeit und hohe Reproduzierbarkeit Ein langer Lichtweg von ca. 1 m wird durch den Einsatz von Glasfasertechnologien gesichert. Dadurch wird eine hohe Empfindlichkeit erreicht, die auf eine extrem niedrige Dichte reagiert. Dieses Produkt gewährleistet die reproduzierbare Genauigkeit des Messbereichs ±2% im Bereich von 0 bis 2 µg/L bei der schnellen 5-Minuten-Messung. Tischmodell Kompaktes Design Der flexible Aufbau der "Long Light Path Length Measuring Cell" ermöglicht zudem ein revolutionär kompaktes Design. Dieses Tischmodell ist für verschiedene Einbaubedingungen, wie z.B. enge Platzverhältnisse, erhältlich. Reduzierter Reagenzienverbrauch auf 1/5 reduziert