Konzentrations-Überwachungssystem CS-600F

TemperaturMesschemisch

Das CS-600F erreicht ein höheres Maß an Funktionalität, das am besten für die Fertigung geeignet ist, wie z.B. die Möglichkeit, Inline-Messungen von Hochtemperatur-Chemielösungen in verschiedenen Anwendungen durchzuführen, einen stabilen Betrieb für reduzierte Ausfallzeiten und eine kompakte Größe für eine verbesserte Raumproduktivität, um das präzise Management der Konzentration chemischer Lösungen zu erfüllen, das im hochmodernen Halbleiter-Nassprozess erforderlich ist. Reduzierte Größen für flexibleres Layout Der CS-600F-Monitor ist kompakt in der Größe, die Höhe wurde um 36% reduziert, das Volumen um 40% und der Platzbedarf der Zellenkabel um 46% im Vergleich zu früheren Modellen (CS-100F1-Serie). Die Lichtquelleneinheit und der Monitor-Hauptkörper können entfernt und an getrennten Orten installiert werden, was eine flexible Installation ermöglicht, die auf den Standorten der chemischen Lösungseinheit und der Reinigungsgeräte basiert. Hochstabile Inline-Messung von chemischen Hochtemperaturlösungen (20 bis 80℃) Das völlig neue optische System und die verbesserten Verarbeitungsalgorithmen ermöglichen die Inline-Messung von Hochtemperatur-Chemielösungen, ein entscheidender Schritt für hochmoderne Nassprozesse. Der CS-600F von HORIBA bietet eine hohe Stabilität und ermöglicht ein effizienteres und präziseres Management der chemischen Lösung. Deutlich reduzierte Hintergrundkorrekturfrequenz Die regelmäßige Korrekturfrequenz ist im Vergleich zum Vorgängermodell (CS-100F1-Serie) deutlich reduziert, was wiederum die Ausfallzeiten der Einheit deutlich reduziert und wesentlich zu einem verbesserten Durchsatz beiträgt. Ein einzelner Monitor ist in der Lage, bis zu sechs Arten von chemischen Lösungen (Lösungsarten oder -bereiche) zu messen