Gasverdampfer IR-300

Verdampfungskonzentration

Das MOCVD-Verfahren (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) findet breite Anwendung bei der Herstellung von LEDs, optischen Geräten und anderen Komponenten. Flüssige und feste Ausgangsstoffe werden der Reaktionskammer zugeführt, indem die Temperatur, der Druck und die Durchflussmenge des Trägergases geregelt werden (Bubbling-Verfahren). Die Inline-Geräte der Serie IR-300 messen und melden die Konzentration der Ausgangsstoffe in Echtzeit und bieten dem Anwender folgende Vorteile: Optimierung der Prozesssteuerung zur Herstellung hochwertigerer Bauteile Verbesserung der Geräteausbeute und Reduzierung des Ausschusses Verbesserung der Reproduzierbarkeit Wissen, wann ein Bubbler ausgetauscht werden muss MTTA verlängern Reduzieren Sie ungeplante Eingriffe Verringerung des Abfalls wertvoller Vorprodukte Überwachung in Echtzeit Schnelles Ansprechen und hervorragende Wiederholbarkeit ermöglichen die Verfolgung von Änderungen der Dampfkonzentration in Echtzeit Multi-Kalibrierungskurven-Funktion (optional) Ermöglicht die Konzentrationsmessung von bis zu 3 Chemikalien oder Bereichen Multi-Display-Funktion Die Multi-Display-Funktion auf der Oberseite des IR-300 ermöglicht dem Benutzer eine Vor-Ort-Überprüfung der Konzentrationsüberwachung und des Status der Vorläuferspeiseleitung Kommunikationsfunktion Anschlussmöglichkeiten über DeviceNet™, RS485 und analoge Kommunikation Einfaches, kompaktes Design Das kompakte und montagefreie Design des Geräts mit einer Frontfläche von 124 mm ermöglicht eine einfache Integration