Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt
IR-200 HORIBA STEC

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Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt Ausstoß-Überwachungsgerät ohne Kontakt - IR-200
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Beschreibung

Gasüberwachung für die Kammerreinigung Endpunktüberwachung IR-200
Gasüberwachung für die Kammerreinigung Endpunktüberwachung IR-200
Das IR-200 überwacht die SiF4-Gaskonzentration in Echtzeit und identifiziert den Reinigungsendpunkt basierend auf den SiF4-Gaskonzentrationen.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)