LCD-Monitor / rackfähig / für Industrieanwendungen
CS-137 HORIBA STEC

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LCD-Monitor / rackfähig / für Industrieanwendungen LCD-Monitor / rackfähig / für Industrieanwendungen - CS-137
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Eigenschaften

  • Technologie:

    LCD

  • Aufbau:

    rackfähig

  • Anwendung:

    für Industrieanwendungen

Beschreibung

BHF-Konzentrations-Monitor, CS-137
CS-100 Seriesr, CS-137-153-152-150-100-153N-139E
Das CS-137 ist ein Lösungs-Konzentrationsmonitor der Hochpräzision chemischer, der entworfen ist, um die strengen Nachfragen von Halbleiternassradierungsprozessen zu befriedigen. Ätzverfahren benutzen BHF-Lösung, um Siliziumoxid zu ätzen und Partikel von der Oblatenoberfläche zu entfernen. Das CS-137 überwacht fortwährend jede Komponente der BHF-Lösung (NH4F/HF/H2O) und alarmiert den Benutzer, jedes Mal wenn die Lösung ersetzt oder ergänzt wird. Dieses erlaubt Ihnen, die Konzentration der BHF-Lösung innerhalb der erforderlichen Teilbereiche beizubehalten, beim Beseitigen des unnötigen Lösungsersatzes.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)