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- Fujifilm NDT Systems
Harz für Halbleiter KrFhochbeständiglichtempfindlichmit hoher Thermostabilität
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Eigenschaften
- Anwendung
- für Halbleiter
- Weitere Eigenschaften
- hochbeständig, lichtempfindlich, mit hoher Thermostabilität
Beschreibung
Bei der GKR-Serie handelt es sich um positiv getönte KrF-Fotoresistsysteme, die ein breites Spektrum an Anwendungen abdecken.
- Nicht PFOS/PFAS-haltige Materialien
- Anwendung mit hohem Aspektverhältnis
- Hervorragende Beständigkeit gegen Plasmaätzung und Ionenimplantation
- Breite Prozessfenster
- Niedrige Defektraten
- Langfristige Stabilität
- Vertikale Profile
- Breite Dickenabdeckung
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Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.