Aluminiumfolien für die Elektronikindustrie müssen höchsten Qualitätsanforderungen genügen. Für die Herstellung von hochkapazitiven Folien wird nur Aluminium höchster Reinheit verwendet.
Der Reinheitsgrad des Aluminiums steigt mit der Betriebsspannung. Für Niederspannungsanwendungen ist die Sorte AI3N8 ausreichend, während für Hochspannungsanwendungen AI4N (AI 99,99 %) erforderlich ist.
Während des Glühens wird eine extrem reine Prozessatmosphäre verwendet, um eine gleichmäßige Al2O3-Schicht auf der Folienoberfläche zu erzielen, was wiederum das Tunnelätzen bei den nachfolgenden Prozessen begünstigt. Das Material wird bei Glühtemperaturen zwischen 550 °C und 620 °C verarbeitet, und der Taupunkt der Atmosphäre muss unter -30 °C liegen.
Um diese strengen Kriterien zu erfüllen, muss die Glühung in einem Ofen mit einer gas- und vakuumdichten Retorte erfolgen. Ein HICON Glockenglühofen ist für diese Anwendung ideal.
HICON Glockenglühanlagen zeichnen sich durch folgende Merkmale aus:
Metallische Oberflächen, ausgelegt für mittleres Vakuum
Flexible Aufheiz- und Abkühlgradienten im Vakuum oder in Prozessatmosphäre
Gasdichter und vakuumdichter Arbeitsraum
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