Beschreibung
Der piezoelektrische kreuztisch XY200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen Maskenpositionierung, Atomkraft- und Rastertunnelmikroskope.
Verfügbare optionen
Dehnungsmessstreifen; Wirbelstromsensoren, Vakuum
Status
Standard