Massenspektrometer / für Halbleiterindustrie / automatisiert / PMT
IMS 7f-Auto CAMECA

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Eigenschaften

  • Typ:

    Massen

  • Bereich:

    für Halbleiterindustrie

  • Weitere Eigenschaften:

    automatisiert, PMT, Sekundärionen-Massen

Beschreibung

CAMECAs universelles SIMS: Referenzdetektionsempfindlichkeit mit hohem Durchsatz & Vollautomatisierung

Das IMS 7f-Auto ist die neueste Version unserer erfolgreichen IMS xf Sekundär-Ionen-Massenspektrometer-Produktlinie. Entwickelt, um ultimative Präzisionselement- und Isotopenanalysen mit erhöhter Benutzerfreundlichkeit und Produktivität zu liefern, wurde es für anspruchsvolle Anwendungen wie Glas, Metalle, Keramik, Si-basierte, III-V- und II-VI-Geräte, Schüttgüter, Dünnschichten.... optimiert und erfüllt die Anforderungen der Industrie an eine effiziente Geräteentwicklung und Prozesskontrolle.

Wichtige analytische Funktionen zur Lösung einer Vielzahl von analytischen Problemen

Das IMS 7f-Auto bietet beispiellose Tiefenprofilierungsfunktionen mit hoher Tiefenauflösung und hohem Dynamikbereich. Das hochtransparente Massenspektrometer wird mit zwei reaktiven, hochdichten Ionenquellen, O2+ und Cs+, kombiniert und bietet somit eine hohe Sputterrate und ausgezeichnete Nachweisgrenzen. Ein einzigartiges optisches Design ermöglicht sowohl die direkte Ionenmikroskopie als auch die Rastermikrosondenabbildung.
Verbesserte Automatisierung und Betriebseffizienz

Das IMS 7f-Auto ist mit einer neu gestalteten, in Reihe geschalteten Primärsäule ausgestattet, die eine einfachere und schnellere Primärstrahlabstimmung und eine optimierte Primärstrahlstromstabilität ermöglicht. Neue automatisierte Routinen für die Primär- und Sekundärsäulenabstimmung minimieren bedienerbezogene Verzerrungen und verbessern die Benutzerfreundlichkeit. Eine motorisierte Lagerkammer mit automatischer Be- und Entladung der Probenhalter gewährleistet einen hohen Durchsatz durch Analyseketten und Fernbedienung.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)