Thermischer Massen-Durchflussmesser GF1 series

für GasInlineEdelstahl

Massendurchflussregler der Serie GF100 für die Halbleiterproduktion Herausragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit – mit den MFCs der Serie GF100 Metallgedichtete Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF100 sind nicht nur sehr schnell ansprechbar. Die leistungsstarken MFCs bieten Ihnen auch eine hohe Wiederholbarkeit und Reinheit. Die Durchflussmessgeräte sind extra für die Halbleiterproduktion entwickelt. Dabei übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard und stellt eine wiederholbare, zuverlässige Leistung sicher. Alle Durchflussmesser der Serie sind zudem standardmäßig mit MultiFlo™ ausgestattet. So können Sie eine Vielzahl an Gas-Arten mit nur einem Massendurchflussregler messen. Merkmale • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr • Einschwingzeiten: 700 ms - <1 Sekunde • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm oder 0,25 µm • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen. • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen • Lokale Anzeige • Optionales sicheres Gas-Bereitstellungssystem (SDS) • DeviceNet™, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen