Durchflussmesser mit Massendurchflussregler EL-FLOW® Metal Sealedthermisch/Massenfür GasInline
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Eigenschaften
- Technologie
- thermisch/Massen
- Flüssigkeit
- für Gas
- Installierung
- Inline
- Material
- Edelstahl
- Kommunikation
- 4-20 mA, mit Analogausgang, RS-232
- Versorgungsspannung
- 24 VDC, 15 V DC
- Schutzniveau
- IP40
- Anwendung
- für die Halbleiterindustrie
- Weitere Eigenschaften
- Hochpräzision, mit Massendurchflussregler
- Durchsatz
Min: 0,1 l/min
(0 us gal/min)Max: 50 l/min
(13,2 us gal/min)- Prozesstemperatur
Min: -10 °C
(14 °F)Max: 50 °C
(122 °F)- Prozessdruck
1.000 psi, 1.500 psi
- Präzision
0,1 %, 0,5 %
- Wiederholbarkeit
0,1 %, 0,2 %
Beschreibung
Die metallisch gedichteten Durchflussmesser und Durchflussregler von Bronkhorst zeichnen sich durch ihre einzigartige, international patentierte, metallische Abdichtungskonstruktion mit hervorragenden Dichtungseigenschaften aus. Aufgrund ihrer hohen Oberflächenqualität sind sie besonders geeignet, um den Anforderungen der Halbleiter- und Solarindustrie sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Basisblöcke der Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler sind mit 1/4‘‘-VCR-Verbindungen versehen.
Metallisch gedichtete Massendurchflussmesser & Massendurchflussregler mit Feldbus-Schnittstelle
Moderne Instrumente sind mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit (t98 auf 500 msec reduziert) bieten. Die neuesten Geräte der EL-FLOW® Serie verfügen über eine Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die unseren (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet. Um dem Kunden die Bedienung zu erleichtern, stellt Bronkhorst eine benutzerfreundliche Konfigurationssoftware bereit.
Kataloge
METAL SEALED
6 Seiten
Messen
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.