Fotoresist-Stripper für Halbleiterplatten
Axcelis Technologies
Wenn sie kommt, Streifentechnologie zu trocknen, sind Prozessanwendungsnotwendigkeiten so verschieden wie unsere Kunden. Das ist, warum Axcelis zwei eindeutige Produktfamilien anbietet, die das Voll von FEOL adressieren und BEOL Streifen- und Plastikabbauanforderungen für Transistoranordnung, Verknüpfung und Verpackungsanwendungen durch den Nullpunkt der Technologie 45nm widerstehen.
- Geschwindigkeit, Leistungsfähigkeit und Wirtschaft
Unsere Familie RapidStrip (TM) der Systemsadresse, Großserienphotoresiststreifen braucht, wherereliability und niedrige Kosten des Besitzes sind erstklassige Interessen.
- Prozessleistung und vielseitige Verwendbarkeit
Unsere Familie RadiantStrip (TM) der Systeme stützen das forderndste trocknen Streifenanforderungen, einschließlich das Säubern über vorgerückte niedrige-k dielektrische Materialien.
