Wasserfilterpatrone L8E

für Chemikalienzur Mikrofiltrierungfür die Vorfiltration

Die Ф83-Filterkerzen der Serie L8E mit hohem Durchsatz wurden speziell für Nassverarbeitungsanwendungen in der TFT-LCD-Fertigung entwickelt, wie z. B. Entwicklung, Ätzen, Substratreinigung und DI-Wasserspülung. Die Filter sind in verschiedenen Materialien und mit einer breiten Palette von Abscheidegraden erhältlich und zeichnen sich durch eine einzigartige Konstruktion und eine große Filtrationsfläche aus, was zu geringeren Wechsel- und Betriebskosten führt. Sie weisen eine ausgezeichnete Kompatibilität mit den verschiedenen Prozessflüssigkeiten auf und sind in der Lage, die für den G4-5-Prozess erforderlichen 100 l/min zu erreichen. Merkmale und Vorteile ● Breites Spektrum an Materialien und Abscheidegraden ● Hohe Filtrationsfläche und lange Standzeit ● Hohe Durchflussraten und geringer Druckabfall ● Reduzierte Betriebskosten für die Filtration Qualität ● In einer kontrollierten Umgebung hergestellte Filterkerzen ● Hergestellt nach einem ISO9001-zertifizierten Qualitätsmanagementsystem