Restgasanalysator / Druck / tragbar / Datenerfassung
DyMaxion RGA AMETEK Process Instruments

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Restgasanalysator / Druck / tragbar / Datenerfassung Restgasanalysator / Druck / tragbar / Datenerfassung - DyMaxion RGA
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Eigenschaften

  • Gegenstand der Messung:

    Restgas

  • Messgröße:

    Druck

  • Konfigurierung:

    tragbar

  • Weitere Eigenschaften:

    Datenerfassung

Beschreibung

Die Datenerfassungs- und Steuerelektronik des "zero footprint" Smart Sensor Restgasanalysators kann direkt auf dem Sensor montiert werden. Es kann über die RS-232-Schnittstelle oder die RS-485-Schnittstelle für mehrere Analysegeräte an einen Computer angeschlossen werden. Neben seinem geringen Platzbedarf bietet er zahlreiche Funktionen als intelligenter Sensor. Zu den Ionenquellenoptionen gehören eine geschlossene Ionenquelle für CVD und Probenahme unter verschiedenen atmosphärischen Bedingungen, eine leitwertbegrenzte Ionenquelle für PVD-Anwendungen, eine offene Ionenquelle für UHV-Anwendungen und die Bereiche 100, 200 und 300 AMU.

Die eingebaute analoge und digitale I/O Nulldrift-Elektrometer-Verstärkertechnologie ist optional erhältlich. Es beinhaltet eine On-Board-Diagnose der Kommunikationsanschlüsse RS-232 und RS-485. Die Open Ion Source ist die kostengünstigste der Ionisatortypen und hat das einfachste Design und kann direkt in die Vakuumkammer mit Drücken von 10-4 Torr direkt in das Messgas eingesetzt werden.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)