Restgasanalysator / Druck / tragbar / Datenerfassung
DyMaxion RGA AMETEK Process Instruments

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Restgasanalysator / Druck / tragbar / Datenerfassung Restgasanalysator / Druck / tragbar / Datenerfassung - DyMaxion RGA
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Eigenschaften

  • Gegenstand der Messung:

    Restgas

  • Messgröße:

    Druck

  • Konfigurierung:

    tragbar

  • Weitere Eigenschaften:

    Datenerfassung

Beschreibung


Die Datenerfassung- und Steuerelektronik des ?null Abdruck? intelligenter Sensor-Restgas-Analysators kann direkt am Sensor angebracht werden. Sie kann an einen Computer über sein Tor RS-232 angeschlossen werden oder Tor RS-485 für mehrfache Analysatorinstrumente. Sie kennzeichnet zahlreiche Eigenschaften außer seinem nullabdruck als intelligenter Sensor. Seine Ionenquelwahlen schließen eine beiliegende Ionenquelle für CVD und Musterstück der verschiedenen atmosphärischen Bedingungen, eine Leitfähigkeit begrenzte Ionenquelle für PVD Anwendungen, eine geöffnete Ionenquelle für UHV Anwendungen und 100, 200 und 300 AMU Strecken ein.

Analoge und digitale Input/Output nullantriebelektrometer-Verstärkerbordtechnologie ist beliebig vorhanden. Sie schließt Borddiagnose RS-232 und RS-485 DFV-Anschlüsse ein. Seiend- das wenige teure des ionizer schreibt, die geöffnete Ionenquelle hat das einfachste Design und kann direkt in die Vakuumkammer mit dem Druck von 10-4 Torr eingesetzt werden, gerade in das Beispielgas.