Motorisierte Nanopositioniertische

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drehbarer Nanopositioniertisch
drehbarer Nanopositioniertisch
FBR Series

Die Nanomotion FBR Serie Drehträger bieten für Präzisions-Rotationsbewegungen die kompakteste Verankerung. Ein Keramikring mit 60 mm Durchmesser umfasst ein Präzisions-Kreuzrollen-Drehlager mit einem kontaktlosen Optikgeber. Der FBR60 ...

linearer Nanopositioniertisch
linearer Nanopositioniertisch
NT...V

Der IKO Nano-Linearmotor besitzt eine ausgezeichnete Performance, wie z.B. Magneten und ein optisches Wegmesssystem im Führungswagen sowie Statorspulen und einen optischen Lesekopf im Tischbett. Als Führung für die Positionierung wird ...

Vakuumkompatible-Nanopositioniertisch
Vakuumkompatible-Nanopositioniertisch
LA97 series

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm

Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...

XY-Nanopositioniertisch
XY-Nanopositioniertisch
KLT300 series

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Durchlicht: 80 x 80 mm Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Messsystem • Wahlweise ...

linearer Nanopositioniertisch
linearer Nanopositioniertisch
ANT95L series

Hub: 25, 100, 75, 50 mm
Geschwindigkeit: 145, 500 mm/s
Wiederholbarkeit: 75 nm

... Unsere ANT95L-Lineartische der zweiten Generation sind die führende Lösung für Ihre Bewegungs- und Positionierungsanforderungen im Nanometerbereich. Sie sind in einer Vielzahl von Konfigurationen erhältlich und bieten die klassenbeste ...

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Aerotech
linearer Nanopositioniertisch
linearer Nanopositioniertisch
NPX series

Hub: 0,4, 0,2, 0,1 mm

... Die NPX Piezo Stack Lineartische bieten lange Verfahrwege und Sub-Nanometer-Auflösung in einer, zwei oder drei Achsen in einem kompakten Gehäuse. Sie zeichnen sich durch eine schnelle Reaktion und ein schnelles Einschwingverhalten aus, ...

XY-Nanopositioniertisch
XY-Nanopositioniertisch
PXY Series

Hub: max 16.0 µm

Die Piezo-Positioniertische PXY basieren auf Piezo-Aktoren, welche mittels Festkörpergelenken dynamisch mit der Genauigkeit im Nanometerbereich präzise positionieren können. Die Piezo-Tische und Piezo-Scan-Antriebssysteme erreichen Positionierwege ...

Z-Nanopositioniertisch
Z-Nanopositioniertisch
Model ZSA-1000C

Hub: 1 mm

... Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und steife kinematische ...

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