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Messsysteme für Wafer
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RoboVib® - Struktur-Messstation für automatisierte experimentelle Modaltests Die RoboVib® Structural Test Station kombiniert das optische Präzisionsmessverfahren der 3D-Scanning Vibrometrie mit einem Industrieroboter. Damit stellt ...
... Prüfung von Mikrostrukturen auf Wafern. Der automatisierte Wafer-Handling- und Prüfprozess sorgt für eine sehr hohe Effizienz und ermöglicht eine fehlerfreie Handhabung und Vermessung der Wafer aufgrund ...
... XT-Option Zusätzliche Technologien erweitern die Wafer-Handhabungs- und Messmöglichkeiten des PWG5-Systems für strukturierte Wafergeometrie, um Wafer-to-Wafer-Bonding-Messungen für fortschrittliche ...
KLA - TENCOR
... hoher Geschwindigkeit und hoher Auflösung durchzuführen. Bahnbrechendes, multifunktionales, konfokales Video-Messsystem Dieses Messsystem verfügt über konfokale Technologie, Hellfeld-Bildgebung mit ...
Nikon Metrology
... Überlagerung Die Überlagerung ist ein Verfahren zur Angleichung der oberen Schicht an die untere Schicht. Der Überlagerungsfehler ist definiert als die Abweichung zwischen diesen beiden Schichten. Die Messung des Überlagerungsfehlers ...
TZTEK Technology Co.,ltd
... herkömmliche magnetische Charakterisierung und kann auf die Proben detektion vor und nach der Struktur ierung angewendet werden. Wafer Moke kann ein vertikales Magnetfeld von bis zu 2,5 T/1,3 T in der Ebene bereitstellen, ...
Produktbeschreibungen Multi-sensor CNC Vision Measuring System ist hohe Feinmessunglösungen für große Teile. Mit Metrology Software, Programmable Zoomobjektiv, Servo Bewegungssteuerung, die Vision Maschinen-Maßteile beenden bis zu 2 ...
Leader Precision Instrument Co. Ltd
... Strukturen. Anwendungen: Höhenmessung im μm-Bereich (Schicht- und Strukturdicken, Kratzer) Messen von Flachteilen (Wafer und Masken) Inspektion und Messung von Mikro- und Makrostrukturen Materialuntersuchungen, ...
... Leckagen und niedrigen Kapazitäten erheblich. Ein neuer, fortschrittlicher 200-mm-Schnelltisch, eine Kassette für bis zu 50 Wafer, Testfunktionen mit hohem Durchsatz und ein breiter Temperaturbereich von -60 °C bis 300 ...
FORMFACTOR
... Dieses Gerät wird speziell für die Orientierungsmessung von Silizium-Einkristallstäben verwendet, es kann passend zu YX-5Z/6Z und Mehrlinienschneidegeräten verwendet werden. Seine größte Eigenschaft ist, dass es direkt den l-Ablenkwinkel, ...
... Das unabhängig entwickelte spektrale konfokale Messsystem wird bei den Rohstoffproduktionsunternehmen im vorgelagerten Bereich der Halbleiterindustriekette eingesetzt, um die Größe und Ebenheit von Halbleiter-Roh- und ...
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