The challenge: Pressurize without disturbing particles.
The chamber is a contaminated environment, and pressurization can disturb the particles contained within, causing them to fall on the wafer's surface. The challenge is to pressurize as quickly as possible, but without creating jets of gas that can disturb particles.
The solution: Mott GasShield® POU (Point-of-Use) Diffusers.
Mott ...
Material: Aluminiumfarben: Weiß, RAL 9010, können wir Kunde Anforderungen Größe auch folgen: 100 x 100, 150 x 200, 250 x 300, X.400 350 und so weiter können Sie die Größe wählen, die Ihre Anforderungen Eigenschaften übereinstimmt: Das Blatt kann justieren, während Ihr Anforderungen Blatt unterschiedlichen durchbrennenabstand holen kann und unterschiedliche Winkel sich erweitern